氦檢漏儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器，結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性，具體的結(jié)構(gòu)原理。而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢漏儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空檢漏儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級(jí)放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的核心功能就是為質(zhì)譜室供電與測(cè)量。另外在有些條件下，氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽、保證檢漏儀真空度等工作。  

氦檢漏儀是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開。儀器只對(duì)示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒有反應(yīng)，屬于單一檢漏儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號(hào)，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示漏率大小。之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕，易于穿過漏孔，擴(kuò)散快，對(duì)分析設(shè)備制造的要求相對(duì)簡(jiǎn)單；同時(shí)氦氣在空氣中含量少，本底信號(hào)小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。  

氦檢漏儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢漏儀的檢漏方法也較多，有正壓法、負(fù)壓法、氦罩法、真空箱法、背壓法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。